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文献
J-GLOBAL ID：201602240187772719
整理番号：16A1280787
圧電体MEMSダイアフラム型超音波センサの上部電極が振動モードに与える影響
西岡知記
(京都工繊大)
,
西海太貴
(京都工繊大)
,
山下馨
(京都工繊大)
,
野田実
(京都工繊大)
資料名：
センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)
(センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 33rd ページ： ROMBUNNO.26am1-B-2 発行年： 2016年
JST資料番号： X0768B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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