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文献
J-GLOBAL ID：201602240879956390
整理番号：16A0636203
超高感度をもつナノ加工トルクセンサ【Powered by NICT】
A nanomachined torque sensor with ultrahigh sensitivity
Jian Guo Huang
(Sch. of Mech. Eng., Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, China)
,
Cat Hong
(Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore)
,
Yuan Dong Gu
(Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore)
,
Bin Dong
(Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore)
,
Jun Feng Song
(Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore)
,
Zhen Chuan Yang
(Nat. Key Lab. of Sci. & Technol. on Micro, Peking Univ., Beijing, China)
,
Yu Feng Jin
(Nat. Key Lab. of Sci. & Technol. on Micro, Peking Univ., Beijing, China)
,
Yu Long Hao
(Nat. Key Lab. of Sci. & Technol. on Micro, Peking Univ., Beijing, China)
,
Jiu Hui Wu
(Sch. of Mech. Eng., Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, China)
,
Tian Ning Chen
(Sch. of Mech. Eng., Xi’an Jiaotong Univ., Xi’an, China)
,
Dim-Lee Kwong
(Inst. of Microelectron., A*STAR, Singapore, Singapore)
,
Ai Qun Liu
(Sch. of Electr. & Electron. Eng., Nanyang Technol. Univ., Singapore, Singapore)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： MEMS ページ： 858-861 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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