文献
J-GLOBAL ID:201602241429768756
整理番号:16A0615432
SOIウエハの非破壊キャラクタリゼーションのための走査型マイクロ波顕微鏡【Powered by NICT】
Scanning microwave microscopy for non-destructive characterization of SOI wafers
著者 (7件):
Michalas L.
(Inst. for Microelectron. & Microsyst., Rome, Italy)
,
Ionica I.
(IMEP-LAHC, Univ. de Grenoble Alpes, Grenoble, France)
,
Brinciotti E.
(Keysight Technol. Austria GmbH, Linz, Austria)
,
Pirro L.
(IMEP-LAHC, Univ. de Grenoble Alpes, Grenoble, France)
,
Kienberger F.
(Keysight Technol. Austria GmbH, Linz, Austria)
,
Cristoloveanu S.
(IMEP-LAHC, Univ. de Grenoble Alpes, Grenoble, France)
,
Marcelli R.
(Inst. for Microelectron. & Microsyst., Rome, Italy)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
EUROSOI-ULIS
ページ:
238-241
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)