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文献
J-GLOBAL ID：201602241542475072
整理番号：16A0698631
IC読出しMS3110微分容量を用いた二重目的ジャイロ/加速度計装置の加速特性【Powered by NICT】
Acceleration characterization of dual purpose gyro/accelerometer device using MS3110 differential capacitive read out IC
Verma Payal
(Samara State Aerospace University, 34, Moskovskoye Shosse, Samara, 443086, Russia)
,
Butt M. A.
(Samara State Aerospace University, 34, Moskovskoye Shosse, Samara, 443086, Russia)
,
Khonina Svetlana N.
(Samara State Aerospace University, 34, Moskovskoye Shosse, Samara, 443086, Russia)
,
Kazanskiy Nikolay L.
(Samara State Aerospace University, 34, Moskovskoye Shosse, Samara, 443086, Russia)
,
Khan Khamar Zaman
(Semiconductor Technology and Applied Research Centre (A unit of SITAR, Bangalore, Karnataka, 560016, India SITAR), Bangalore, Karnataka, 560016, India)
,
Gopal Ram
(MEMS and Micro-sensors Group, CSIR-Central Electronics, Engineering Research Institute, Pilani, Rajasthan, 333031, India)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： MicroCom ページ： 1-5 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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