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文献
J-GLOBAL ID：201602245506890188
整理番号：16A0896434
効率的なダイヤモンドの成長のためのマイクロ波プラズマの短パルス励起
Short-pulse excitation of microwave plasma for efficient diamond growth
Yamada Hideaki
(Advanced Power Electronics Research Center (ADPERC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
,
Chayahara Akiyoshi
(Advanced Power Electronics Research Center (ADPERC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
,
Mokuno Yoshiaki
(Advanced Power Electronics Research Center (ADPERC), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), 1-8-31 Midorigaoka, Ikeda, Osaka 563-8577, Japan)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 109 号： 9 ページ： 092102-092102-5 発行年： 2016年08月29日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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