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J-GLOBAL ID：201602245934964986 整理番号：16A0607632

メガ電子ボルトエネルギーイオンプローブを使った雰囲気SIMSの開発

Development of ambient SIMS using mega-electron-volt-energy ion probe

著者 (5件)：

Kusakari Masakazu

(Department of Nuclear Engineering, Kyoto University, Uji, 611-0011 Kyoto, Japan)

Fujii Makiko

(Quantum Science and Engineering Center, Kyoto University, Uji, 611-0011 Kyoto, Japan)

Seki Toshio

(Department of Nuclear Engineering, Kyoto University, Uji, 611-0011 Kyoto, Japan and SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075 Tokyo, Japan)

Aoki Takaaki

(Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University, Nishikyo, 615-8510 Kyoto, Japan and SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075 Tokyo, Japan)

Matsuo Jiro

(Quantum Science and Engineering Center, Kyoto University, Uji, 611-0011 Kyoto, Japan and SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075 Tokyo, Japan)

資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)

巻： 34 号： 3 ページ： 03H111-03H111-4 発行年： 2016年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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