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文献
J-GLOBAL ID：201602247181317457
整理番号：16A0491012
スパッタ成膜a-Si:Hを用いたレーザー誘起誘電泳動による光MEMS拡散センサーの開発
Development of Micro Optical Diffusion Sensor utilizing Laser-Induced Dielectrophoresis with Sputtered a-Si:H
鎌田慎
(慶応大 大学院理工学研究科)
,
山田幹
(協同インターナショナル(川崎市))
,
田口良広
(慶応大 理工)
,
長坂雄次
(慶応大 理工)
資料名：
熱物性
(日本熱物性学会会誌)
巻： 30 号： 2 ページ： 74-79 発行年： 2016年05月31日
JST資料番号： X0597A ISSN： 0913-946X CODEN： NEBUE4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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