文献
J-GLOBAL ID:201602247193680916
整理番号:16A0657367
ウエハ再検討と時間制約のある単一アームクラスタツールの最適スケジューリング【Powered by NICT】
Optimal scheduling of time-constrained single-arm cluster tools with wafer revisiting
著者 (4件):
Liu ZiCheng
(Department of Industrial Engineering, School of Electro-Mechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China)
,
Wu NaiQi
(Institute of Systems Engineering, Macau University of Science and Technology, Taipa, China)
,
Yang FaJun
(Department of Industrial Engineering, School of Electro-Mechanical Engineering, Guangdong University of Technology, Guangzhou 510006, China)
,
Qiao Yan
(Institute of Systems Engineering, Macau University of Science and Technology, Taipa, China)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
WODES
ページ:
355-360
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)