文献
J-GLOBAL ID:201602249092952071
整理番号:16A0636141
SiプロセスはAu/Siナノ柱アレイを用いた近赤外光検出器を適合【Powered by NICT】
Si process compatible near-infrared photodetector using AU/SI nano-pillar array
著者 (4件):
Kan Tetsuo
(Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Ajiki Yoshiharu
(Micro Machine Center, Tokyo, Japan)
,
Matsumoto Kiyoshi
(Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Shimoyama Isao
(Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
MEMS
ページ:
624-627
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)