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文献
J-GLOBAL ID：201602249092952071
整理番号：16A0636141
SiプロセスはAu/Siナノ柱アレイを用いた近赤外光検出器を適合【Powered by NICT】
Si process compatible near-infrared photodetector using AU/SI nano-pillar array
Kan Tetsuo
(Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Ajiki Yoshiharu
(Micro Machine Center, Tokyo, Japan)
,
Matsumoto Kiyoshi
(Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Shimoyama Isao
(Univ. of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： MEMS ページ： 624-627 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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