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文献
J-GLOBAL ID：201602249617603373
整理番号：16A1116702
大きなクラスタイオンビームを用いた低真空SIMS機器の開発
Development of Low-vacuum SIMS instruments with large cluster Ion beam
Suzuki K.
(Department of Nuclear Engineering, Kyoto University, Uji, 611-0011, Kyoto, Japan. suzuki.kanji.72x@st.kyoto-u.ac.jp)
,
Kusakari M.
(Department of Nuclear Engineering, Kyoto University, Uji, 611-0011, Kyoto, Japan)
,
Fujii M.
(Quantum Science and Engineering Center, Kyoto University, Uji, 611-0011, Kyoto, Japan)
,
Seki T.
(Department of Nuclear Engineering, Kyoto University, Uji, 611-0011, Kyoto, Japan)
,
Seki T.
(SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075, Tokyo, Japan)
,
Aoki T.
(Department of Electronic Science and Engineering, Kyoto University, Nishikyo, 615-8510, Kyoto, Japan)
,
Aoki T.
(SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075, Tokyo, Japan)
,
Matsuo J.
(Quantum Science and Engineering Center, Kyoto University, Uji, 611-0011, Kyoto, Japan)
,
Matsuo J.
(SENTAN, Japan Science and Technology Agency (JST), Chiyoda, 102-0075, Tokyo, Japan)
資料名：
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻： 48 号： 11 ページ： 1119-1121 発行年： 2016年11月
JST資料番号： E0709A ISSN： 0142-2421 CODEN： SIANDQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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