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文献
J-GLOBAL ID：201602249626766387
整理番号：16A1108230
EIDECにおけるHSFET(高開口数小型フィールド露光ツール)の現状
Current Development Status of HSFET (High NA Small Field Exposure Tool) in EIDEC
TANAKA Satoshi
(EUVL Infrastructure Dev. Center, Inc., Tsukuba, JPN)
,
MAGOSHI Shunko
(EUVL Infrastructure Dev. Center, Inc., Tsukuba, JPN)
,
KAWAI Hidemi
(EUVL Infrastructure Dev. Center, Inc., Tsukuba, JPN)
,
INOUE Soichi
(EUVL Infrastructure Dev. Center, Inc., Tsukuba, JPN)
,
ROSENTHAL Wylie
(Zygo Corp., CA, USA)
,
GIRARD Luc
(Zygo Corp., CA, USA)
,
MARCHETTI Lou
(Zygo Corp., CA, USA)
,
KESTNER Bob
(Zygo Corp., CA, USA)
,
KINCADE John
(Zygo Corp., CA, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9776 ページ： 97761N.1-97761N.15 発行年： 2016年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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