文献
J-GLOBAL ID:201602250321311236
整理番号:16A0918329
Pt/Ti/SiO2/Si基板上のナノスケールZrO2/HfO22層薄膜における強誘電性の誘導
Induction of ferroelectricity in nanoscale ZrO2/HfO2 bilayer thin films on Pt/Ti/SiO2/Si substrates
著者 (3件):
Lu Y.W.
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, 1 Roosevelt Road, Sec. 4, Taipei 106, Taiwan)
,
Shieh J.
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, 1 Roosevelt Road, Sec. 4, Taipei 106, Taiwan)
,
Tsai F.Y.
(Department of Materials Science and Engineering, National Taiwan University, 1 Roosevelt Road, Sec. 4, Taipei 106, Taiwan)
資料名:
Acta Materialia
(Acta Materialia)
巻:
115
ページ:
68-75
発行年:
2016年08月15日
JST資料番号:
A0316A
ISSN:
1359-6454
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)