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文献
J-GLOBAL ID：201602252635681778
整理番号：16A0689005
ヘリウムイオン顕微鏡を用いた多層セラミックキャパシタの断面の活性電圧コントラストイメージング
Active voltage contrast imaging of cross-sectional surface of multilayer ceramic capacitor using helium ion microscopy
Sakai C.
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Ishida N.
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Masuda H.
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Nagano S.
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Kitahara M.
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
,
Ogata Y.
(TAIYO YUDEN CO., LTD., Takasaki-shi, Gunma 370-3347, Japan)
,
Fujita D.
(National Institute for Materials Science, Tsukuba, Ibaraki 305-0047, Japan)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 109 号： 5 ページ： 051603-051603-4 発行年： 2016年08月01日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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