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文献
J-GLOBAL ID：201602256616875529
整理番号：16A1406894
ウエハスキャナシステムへの応用による強化された運動性能のためのマルチレート反復学習制御【Powered by NICT】
Multirate iterative learning control for enhanced motion performance with application to wafer scanner systems
Sun Liting
(Department of Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, Berkeley, CA, 94720)
,
Tomizuka Masayoshi
(Department of Mechanical Engineering, University of California, Berkeley, Berkeley, CA, 94720)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： ISFA ページ： 469-476 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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