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文献
J-GLOBAL ID：201602257063480140
整理番号：16A0449225
Sn系IV族半導体混晶薄膜の成長と物性評価
Growth and characterization of Sn-containing group-IV semiconductor thin film
志村洋介
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
志村洋介
(静岡大 大学院総合科学技術研究科)
,
竹内和歌奈
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
坂下満男
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
黒澤昌志
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
黒澤昌志
(名古屋大 未来材料システム研)
,
中塚理
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
財満鎭明
(名古屋大 大学院工学研究科)
,
財満鎭明
(名古屋大 未来材料システム研)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 116 号： 2(OME2016 1-17) ページ： 23-26 発行年： 2016年04月01日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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