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文献
J-GLOBAL ID：201602257866603616
整理番号：16A0930332
反応性スパッタ法によるTiO2薄膜の結晶構造制御(1);成膜パラメータによる,あるいはSnドープによるルチルの選択成長
山本晴香
(青山学院大 理工)
,
JIA Junjun
(青山学院大 理工)
,
古武悠
(青山学院大 理工)
,
中村新一
(青山学院大 理工)
,
岡島敏浩
(九州シンクロトロン光研究セ)
,
伊村正明
(日本電気硝子)
,
金井敏正
(日本電気硝子)
,
重里有三
(青山学院大 理工)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th ページ： ROMBUNNO.14p-A31-4 発行年： 2016年09月01日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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