文献
J-GLOBAL ID:201602260491939479
整理番号:16A0829326
Alアシスト光化学エッチングによる水素化シリコンカーバイドSi0.60C0.40膜の表面改質:湿度検知アプリケーション
Surface modification of a-Si0.60C0.40:H films by Al-assisted photochemical etching: humidity sensing application
著者 (7件):
Boukezzata A.
(CRTSE, Division Couches Minces, Surfaces et Interfaces, Algiers, Algeria)
,
Keffous A.
(CRTSE, Division Couches Minces, Surfaces et Interfaces, Algiers, Algeria)
,
Gabouze N.
(CRTSE, Division Couches Minces, Surfaces et Interfaces, Algiers, Algeria)
,
Guerbous L.
(Algerian Nuclear Research Center (CRNA), Algiers, Algeria)
,
Ouadjaout D.
(CRTSE, Division Couches Minces, Surfaces et Interfaces, Algiers, Algeria)
,
Menari H.
(CRTSE, Division Couches Minces, Surfaces et Interfaces, Algiers, Algeria)
,
Kechouane M.
(Physical Faculty, Houari Boumediene University, Algiers, Algeria)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
22
号:
5
ページ:
935-941
発行年:
2016年05月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)