文献
J-GLOBAL ID:201602261706406019
整理番号:16A1108426
クリティカルディメンジョン小角X線散乱(CD-SAXS)による横方向粗さ評価に関する研究
A study of lateral roughness evaluation through critical-dimensional small angle x-ray scattering (CD-SAXS)
著者 (11件):
FREYCHET G.
(Univ. Grenoble Alpes, Grenoble, FRA)
,
FREYCHET G.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
CADOUX C.
(Univ. Grenoble Alpes, Grenoble, FRA)
,
CADOUX C.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
BLANCQUAERT Y.
(Univ. Grenoble Alpes, Grenoble, FRA)
,
BLANCQUAERT Y.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
REY S.
(Univ. Grenoble Alpes, Grenoble, FRA)
,
REY S.
(CEA, Grenoble, FRA)
,
MARET M.
(UJF, Saint Martin d’Heres, FRA)
,
GERGAUD P.
(Univ. Grenoble Alpes, Grenoble, FRA)
,
GERGAUD P.
(CEA, Grenoble, FRA)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9778
号:
Pt.2
ページ:
97783V.1-97783V.8
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)