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文献
J-GLOBAL ID：201602262716949726
整理番号：16A0753957
水素プラズマエッチングによって視覚化したヘテロエピタキシャル・ダイヤモンドの転位
Dislocation in heteroepitaxial diamond visualized by hydrogen plasma etching
Ichikawa K.
(Department of Electrical Engineering and Electronics, Aoyama Gakuin University, Sagamihara 229-0206, Japan)
,
Kodama H.
(Department of Electrical Engineering and Electronics, Aoyama Gakuin University, Sagamihara 229-0206, Japan)
,
Suzuki K.
(TOPLAS ENGINEERING Co., Ltd., Chofu, Tokyo 182-0006, Japan)
,
Sawabe A.
(Department of Electrical Engineering and Electronics, Aoyama Gakuin University, Sagamihara 229-0206, Japan)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 600 ページ： 142-145 発行年： 2016年02月01日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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