文献
J-GLOBAL ID:201602264369096410
整理番号:16A1346712
可変断面の屈曲モードシリコン機械共振器の設計のための半経験的計算
Semi-empirical calculation for design of flexural mode silicon mechanical resonator with variable cross section
著者 (3件):
Matsuzuka Naoki
(Department of Mechanical Engineering, National Institute of Technology, Akashi College, 679-3 Nishioka, Uozumi-cho, Akashi, Hyogo 674-8501, Japan)
,
Hara Takuya
(Graduate School of Engineering, Kobe University, 1-1 Rokkodai-cho, Nada-ku, Kobe, Hyogo 657-8501, Japan)
,
Isono Yoshitada
(Graduate School of Engineering, Kobe University, 1-1 Rokkodai-cho, Nada-ku, Kobe, Hyogo 657-8501, Japan)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
243
ページ:
25-34
発行年:
2016年06月01日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)