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文献
J-GLOBAL ID：201602264945728020
整理番号：16A1319056
第一原理計算により研究した中性粒子ビームとその機構との遷移金属錯体反応エッチング【Powered by NICT】
Transition metal complex reaction etching with neutral beam and its mechanism investigated by first-principles calculation
Kubota Tomohiro
(Institute of Fluid Science, Tohoku University, Miyagi, Japan)
,
Kikuchi Yoshiyuki
(Taiwa Regional Office, Tokyo Electron Limited, Miyagi, Japan)
,
Samukawa Seiji
(Institute of Fluid Science, Tohoku University, Miyagi, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： NANO ページ： 937-940 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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