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文献
J-GLOBAL ID：201602268216664573
整理番号：16A0630810
触媒反応支援CVD法による非極性ZnO結晶膜の成長
Non-polar ZnO film growth on r-plane sapphire substrate using high-temperature H2O generated by a catalytic reaction
田島諒一
(長岡技科大)
,
池田宗謙
(長岡技科大)
,
叶内慎吾
(長岡技科大)
,
大石耕一郎
(長岡工高専)
,
片桐裕則
(長岡工高専)
,
玉山泰宏
(長岡技科大)
,
安井寛治
(長岡技科大)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 116 号： 101(OME2016 18-26) ページ： 13-17 発行年： 2016年06月10日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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