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文献
J-GLOBAL ID：201602274092306053
整理番号：16A0337178
半導体CVD成長に及ぼす分子吸収スペクトルの応用【Powered by NICT】
Applications of molecular absorption spectrum on semiconductor CVD growth
Wang Wenhu
(School of Energy and Power Engineering,Jiangsu Univ., Jiangsu, Zhenjiang)
,
Zuo Ran
(School of Energy and Power Engineering,Jiangsu Univ., Jiangsu, Zhenjiang)
,
Liu Peng
(Wide Bandgap Semiconductor Res. Center,School of Physics,Peking Univ., Beijing)
,
Tong Yuzhen
(Wide Bandgap Semiconductor Res. Center,School of Physics,Peking Univ., Beijing)
,
Zhang Guoyi
(Wide Bandgap Semiconductor Res. Center,School of Physics,Peking Univ., Beijing)
資料名：
Huagong Jinzhan
(Huagong Jinzhan)
巻： 34 号： 11 ページ： 29-29 発行年： 2015年
JST資料番号： C2014A ISSN： 1000-6613 CODEN： HUJIEK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 中国 (CHN) 言語： 中国語 (ZH)
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