文献
J-GLOBAL ID:201602274358788736
整理番号:16A1151374
高性能サブ10nm finWバルクFinFET技術に向けて【Powered by NICT】
Towards high performance sub-10nm finW bulk FinFET technology
著者 (20件):
Chiarella T.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Kubicek S.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Rosseel E.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Ritzenthaler R.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Hikavyy A.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Eyben P.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
De Keersgieter A.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Ragnarsson L-A.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Kim M.-S
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Chew S.-A
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Schram T.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Demuynck S.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Cupak M.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Rijnders L.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Dehan M.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Horiguchi N.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Mitard J.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Mocuta D.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Mocuta A.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
,
Thean A. V-Y.
(imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
ESSDERC
ページ:
131-134
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)