文献
J-GLOBAL ID:201602276280194362
整理番号:16A0731413
マイクロ波CVDによるAr CO_2~-CH_4ガス混合物中の超ナノ結晶ダイヤモンド膜【JST・京大機械翻訳】
Ultrananocrystalline Diamond Films Deposited in Ar-CO_2- CH_4 Gas Mixtures by Microwave CVD
著者 (10件):
Feng Jie
(Central South University)
,
Qi Yao
(Central South University)
,
Sheng Jingkai
(Nanjing Sanle Electronic Information Industry Group Co., LTD)
,
Li Zhou
(Central South University)
,
Ma Li
(Central South University)
,
Wu Xianzhe
(Central South University)
,
Hu Dongping
(Institute of Systems Engineering, CAEP)
,
Mei Jun
(Institute of Systems Engineering, CAEP)
,
Yu Zhiming
(Central South University)
,
Wei Qiuping
(Central South University)
資料名:
Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng
(Xiyou Jinshu Cailiao yu Gongcheng)
巻:
44
号:
12
ページ:
3009-3013
発行年:
2015年12月
JST資料番号:
W0563A
ISSN:
1002-185X
CODEN:
XJCGEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
中国 (CHN)
言語:
英語 (EN)