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文献
J-GLOBAL ID：201602277253871573
整理番号：16A0607653
2つの回転電場を用いた質量分析計の開発
Development of a mass spectrometer using two rotating electric fields
Nojima Masashi
(Research Institute for Science and Technology, Tokyo University of Science, 2641 Yamazaki, Noda, Chiba 278-8510, Japan)
,
Anai Yuki
(Graduate School of Science and Technology, Tokyo University of Science, 2641 Yamazaki, Noda, Chiba 278-8510, Japan)
,
Hotta Masanao
(Office TANDEM L.L.C., 2-16-8 Nishimachi, Kokubunji, Tokyo 185-0035, Japan)
,
Kurumi Satoshi
(College of Science and Technology, Nihon University, 1-8-14 Kanda-Surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo 101-8308, Japan)
,
Suzuki Kaoru
(College of Science and Technology, Nihon University, 1-8-14 Kanda-Surugadai, Chiyoda-ku, Tokyo 101-8308, Japan)
,
Adachi Tatsuya
(Ampere, Inc., Saito Bldg., 7-5-3 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023, Japan)
,
Kusanagi Takashi
(Ampere, Inc., Saito Bldg., 7-5-3 Nishi-Shinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo 160-0023, Japan)
,
Moritani Kosuke
(Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo 671-2201, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 34 号： 3 ページ： 03H132-03H132-4 発行年： 2016年05月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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