文献
J-GLOBAL ID:201602278155318285
整理番号:16A1343281
ガラスの化学機械研磨
Chemical mechanical polishing of glass
著者 (1件):
SUDA Seiichi
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名:
ガラスおよびフォトニクス材料討論会講演要旨集
(Abstract Book. Symposium on Glasses and Photonics Materials)
巻:
57th
ページ:
121
発行年:
2016年11月13日
JST資料番号:
L0841A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)