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文献
J-GLOBAL ID：201602278241135318
整理番号：16A0879390
XYZ走査ステージの設計と剛性解析【Powered by NICT】
Design and stiffness analysis of a XYZ scanning stage
Cai Kunhai
(Key Laboratory of Mechanism Theory and Equipment Design of Ministry of Education, Tianjin University, 300072, China)
,
Tian Yanling
(Key Laboratory of Mechanism Theory and Equipment Design of Ministry of Education, Tianjin University, 300072, China)
,
Cui Liangyu
(Key Laboratory of Mechanism Theory and Equipment Design of Ministry of Education, Tianjin University, 300072, China)
,
Yang Zhen
(Key Laboratory of Mechanism Theory and Equipment Design of Ministry of Education, Tianjin University, 300072, China)
,
Zhang Dawei
(Key Laboratory of Mechanism Theory and Equipment Design of Ministry of Education, Tianjin University, 300072, China)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： MARSS ページ： 1-6 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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