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文献
J-GLOBAL ID：201602278452944830
整理番号：16A1003288
酸化インジウムスズ膜の光学的および電気的特性に及ぼすスパッタリングパワーの影響
Effect of Sputtering Power on Optical and Electrical Properties of Indium Tin Oxide Films
HER Shiuh-Chuan
(Yuan Ze Univ., Chung-Li, TWN)
,
CHANG Chun-Fu
(Yuan Ze Univ., Chung-Li, TWN)
資料名：
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻： 28 号： 9 ページ： 975-981 発行年： 2016年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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