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文献
J-GLOBAL ID：201602279072095548
整理番号：16A1286447
超高次走査非線形誘電体顕微鏡を用いたりんを注入したエミッタとりん拡散エミッタにおけるキャリア分布の2次元解析【Powered by NICT】
Two-dimensional analysis of carrier distribution in phosphorus-implanted emitter and phosphorus-diffused emitter using super-higher-order scanning nonlinear dielectric microscopy
Hirose Kotaro
(Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, Sendai, Miyagi, 980-8577, Japan)
,
Tanahashi Katsuto
(Fukushima Renewable Energy Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Koriyama, Fukushima, 963-0298, Japan)
,
Takato Hidetaka
(Fukushima Renewable Energy Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, Koriyama, Fukushima, 963-0298, Japan)
,
Chinone Norimichi
(Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, Sendai, Miyagi, 980-8577, Japan)
,
Cho Yasuo
(Research Institute of Electrical Communication, Tohoku University, Sendai, Miyagi, 980-8577, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： PVSC ページ： 3671-3674 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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