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文献
J-GLOBAL ID：201602280578969658
整理番号：16A0388427
ラジカル増強原子層蒸着によるゲルマニウム基板上のゲルマニウム酸アルミニウムの形成における低エネルギーイオン照射の役割
Role of low-energy ion irradiation in the formation of an aluminum germanate layer on a germanium substrate by radical-enhanced atomic layer deposition
FUKUDA Yukio
(Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN)
,
YAMADA Daichi
(Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN)
,
YOKOHIRA Tomoya
(Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN)
,
YANACHI Kosei
(Tokyo Univ. of Sci., Suwa, 5000-1 Toyohira, Chino, Nagano 391-0292, JPN)
,
YAMAMOTO Chiaya
(Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
,
YOO Byeonghak
(Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
,
YAMANAKA Junji
(Univ. of Yamanashi, 7-32 Miyamae, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
,
SATO Tetsuya
(Univ. of Yamanashi, 4-3-11 Takeda, Kofu, Yamanashi 400-8511, JPN)
,
TAKAMATSU Toshiyuki
(SST Inc., 989-6 Shimadadai, Yachiyo, Chiba 276-0004, JPN)
,
OKAMOTO Hiroshi
(Hirosaki Univ., 3 Bunkyo, Hirosaki 036-8561, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 34 号： 2 ページ： 02D101-02D101-4 発行年： 2016年03月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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