文献
J-GLOBAL ID:201602281939739314
整理番号:16A0653137
延性Cu-Cu相互接続を形成するための新しいアプローチ【Powered by NICT】
A novel approach for forming ductile Cu-to-Cu interconnection
著者 (3件):
Yeh Che-yu
(Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, Taiwan)
,
Kuo Yi-kai
(Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, Taiwan)
,
Lin Shih-kang
(Department of Materials Science and Engineering, National Cheng Kung University, Taiwan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
ICEP
ページ:
479-484
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)