文献
J-GLOBAL ID:201602289547863941
整理番号:16A0635985
MEMS/NEMSセンサのための移動自由ウエハスケールCVDグラフェン製造プロセス【Powered by NICT】
A transfer-free wafer-scale CVD graphene fabrication process for MEMS/NEMS sensors
著者 (8件):
Vollebregt S.
(Dept. of Microelectron., Delft Univ. of Technol., Delft, Netherlands)
,
Alfano B.
(Dept. of Phys., Univ. of Naples Federico II, Naples, Italy)
,
Ricciardella F.
(Italian Inst. of Technol., Genoa, Italy)
,
Giesbers A. J. M.
(MEMS Foundry Services, Philips Innovation Services, Eindhoven, Netherlands)
,
Grachova Y.
(Dept. of Microelectron., Delft Univ. of Technol., Delft, Netherlands)
,
van Zeijl H. W.
(Dept. of Microelectron., Delft Univ. of Technol., Delft, Netherlands)
,
Polichetti T.
(ENEA UTTP-MDB, Portici, Italy)
,
Sarro P. M.
(Dept. of Microelectron., Delft Univ. of Technol., Delft, Netherlands)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
MEMS
ページ:
17-20
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)