文献
J-GLOBAL ID:201602289648489638
整理番号:16A1342274
赤外線マイクロスペクトロメータ用のMEMS型Fabry-Perotフィルタ:レビュー
Tunable MEMS Fabry-Perot filters for infrared microspectrometers: A review
著者 (6件):
EBERMANN Martin
(InfraTec GmbH, Dresden, DEU)
,
NEUMANN Norbert
(InfraTec GmbH, Dresden, DEU)
,
HILLER Karla
(Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
SEIFERT Mario
(Univ. Chemnitz, Chemnitz, DEU)
,
MEINIG Marco
(Fraunhofer ENAS, Chemnitz, DEU)
,
KURTH Steffen
(Fraunhofer ENAS, Chemnitz, DEU)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9760
ページ:
97600H.1-97600H.20
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)