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文献
J-GLOBAL ID：201602289701845016
整理番号：16A1038725
火山構造のSpindt型電界エミッタアレイを用いた静電集束イメージセンサ
Electrostatic-focusing image sensor with volcano-structured Spindt-type field emitter array
Honda Yuki
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan and Graduate School of Science and Technology, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 432-8011, Japan)
,
Nanba Masakazu
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Miyakawa Kazunori
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Kubota Misao
(NHK Science and Technology Research Laboratories, 1-10-11 Kinuta, Setagaya-ku, Tokyo 157-8510, Japan)
,
Nagao Masayoshi
(National Institute of Advanced Industrial Science and Technology, AIST Tsukuba Central 2, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan)
,
Neo Yoichiro
(Research Institute of Electronics, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 432-8011, Japan)
,
Mimura Hidenori
(Research Institute of Electronics, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu-shi, Shizuoka 432-8011, Japan)
,
Egami Norifumi
(Faculty of Humanity-Oriented Science and Engineering, Kindai University, 11-6 Kayanomori, Iizuka-shi, Fukuoka 820-8555, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 34 号： 5 ページ： 052201-052201-6 発行年： 2016年09月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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