文献
J-GLOBAL ID:201602289775078252
整理番号:16A0636154
低寄生効果を用いた低損失金レース状PZTのシリコン共振器【Powered by NICT】
Low-loss gold-laced PZT-on-silicon resonator with reduced parasitics
著者 (6件):
Rudy Ryan Q.
(Res. Lab., US Army, Adelphi, MD, USA)
,
Pulskamp Jeffrey S.
(Res. Lab., US Army, Adelphi, MD, USA)
,
Bedair Sarah S.
(Res. Lab., US Army, Adelphi, MD, USA)
,
Breen Michael G.
(Res. Lab., US Army, Adelphi, MD, USA)
,
Puder Jonathan M.
(Res. Lab., US Army, Adelphi, MD, USA)
,
Polcawich Ronald G.
(Res. Lab., US Army, Adelphi, MD, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
MEMS
ページ:
675-678
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)