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文献
J-GLOBAL ID：201602290907398680
整理番号：16A0624717
分光エリプソメトリープサイ/デルタ対時間データを解析するために従来のアプローチを再評価する。追加の統計的厳密さはしばしば妥当であるかも知れない
Reevaluating the conventional approach for analyzing spectroscopic ellipsometry psi/delta versus time data. Additional statistical rigor may often be appropriate
Bagley Jacob D.
(Department of Chemistry and Biochemistry, Brigham Young University, Provo, UT, 84602, USA)
,
Dennis Tolley H.
(Department of Statistics, Brigham Young University, Provo, UT, 84602, USA)
,
Linford Matthew R.
(Department of Chemistry and Biochemistry, Brigham Young University, Provo, UT, 84602, USA)
資料名：
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻： 48 号： 4 ページ： 186-195 発行年： 2016年04月
JST資料番号： E0709A ISSN： 0142-2421 CODEN： SIANDQ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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