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文献
J-GLOBAL ID：201602295414047353
整理番号：16A1183620
新しい微細製造技術としての塑性変形により誘起された高アスペクト比リッジ構造
High-Aspect-Ratio Ridge Structures Induced by Plastic Deformation as a Novel Microfabrication Technique
TAKEI Atsushi
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
FUJITA Hiroyuki
(Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
,
JIN Lihua
(Univ. California, California, USA)
,
JIN Lihua
(Stanford Univ., California, USA)
資料名：
ACS Applied Materials & Interfaces
(ACS Applied Materials & Interfaces)
巻： 8 号： 36 ページ： 24230-24237 発行年： 2016年09月14日
JST資料番号： W2329A ISSN： 1944-8244 CODEN： AAMICK 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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