前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201702210155309097
整理番号：17A1560569
比較的高い自己バイアスでのRF PECVD法で蒸着したシリコンの高濃度の炭素被覆【Powered by NICT】
Carbon coatings with high concentrations of silicon deposited by RF PECVD method at relatively high self-bias
Jedrzejczak A.
(Lodz University of Technology, Institute Materials Science and Engineering, 1/15, Stefanowskiego, 90-924 Lodz, Poland)
,
Batory D.
(Lodz University of Technology, Institute Materials Science and Engineering, 1/15, Stefanowskiego, 90-924 Lodz, Poland)
,
Dominik M.
(Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Koszykowa 75, 00-662 Warsaw, Poland)
,
Smietana M.
(Institute of Microelectronics and Optoelectronics, Warsaw University of Technology, Koszykowa 75, 00-662 Warsaw, Poland)
,
Cichomski M.
(University of Lodz, Faculty of Chemistry, Department of Materials Technology and Chemistry, Pomorska 163, 90-236 Lodz, Poland)
,
Szymanski W.
(Lodz University of Technology, Institute Materials Science and Engineering, 1/15, Stefanowskiego, 90-924 Lodz, Poland)
,
Bystrzycka E.
(University of Lodz, Faculty of Chemistry, Department of Materials Technology and Chemistry, Pomorska 163, 90-236 Lodz, Poland)
,
Prowizor M.
(University of Lodz, Faculty of Chemistry, Department of Materials Technology and Chemistry, Pomorska 163, 90-236 Lodz, Poland)
,
Kozlowski W.
(University of Lodz, Faculty of Physics and Applied Informatics, Department of Solid State Physics, Pomorska 149/153, 90 236 Lodz, Poland)
,
Dudek M.
(Lodz University of Technology, Institute Materials Science and Engineering, 1/15, Stefanowskiego, 90-924 Lodz, Poland)
資料名：
Surface & Coatings Technology
(Surface & Coatings Technology)
巻： 329 ページ： 212-217 発行年： 2017年
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。