文献
J-GLOBAL ID:201702210206575078
整理番号:17A1206994
スキャントラッキングの正確な反転フレームワーク内でのラン・ツー・ラン最適化制御
Run-to-Run Optimization Control Within Exact Inverse Framework for Scan Tracking
著者 (5件):
YEOH Ivan L.
(Univ. Washington, WA)
,
REINHALL Per G.
(Univ. Washington, WA)
,
BERG Martin C.
(Univ. Washington, WA)
,
CHIZECK Howard J.
(Univ. Washington, WA)
,
SEIBEL Eric J.
(Univ. Washington, WA)
資料名:
Journal of Dynamic Systems, Measurement, and Control
(Journal of Dynamic Systems, Measurement, and Control)
巻:
139
号:
9
ページ:
091011.1-091011.12
発行年:
2017年09月
JST資料番号:
E0720A
ISSN:
0022-0434
CODEN:
JDSMAA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)