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文献
J-GLOBAL ID：201702210460734728
整理番号：17A0470304
窒化銅薄膜のバイポーラ抵抗スイッチング特性に及ぼす酸素プラズマ注入の効果【Powered by NICT】
The effects of oxygen plasma implantation on bipolar resistive-switching properties of copper nitride thin films
Du Xiaoqin
(Department of Materials Science, Fudan University, 220 Handan Road, Shanghai 200433, People’s Republic of China)
,
Zhou Qianfei
(Department of Materials Science, Fudan University, 220 Handan Road, Shanghai 200433, People’s Republic of China)
,
Yan Zhong
(Department of Materials Science, Fudan University, 220 Handan Road, Shanghai 200433, People’s Republic of China)
,
Zhou Yong-Ning
(Department of Materials Science, Fudan University, 220 Handan Road, Shanghai 200433, People’s Republic of China)
,
Wu Xiaojing
(Department of Materials Science, Fudan University, 220 Handan Road, Shanghai 200433, People’s Republic of China)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 625 ページ： 100-105 発行年： 2017年
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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