文献
J-GLOBAL ID:201702210557998761
整理番号:17A0417566
300zg質量分解能を用いたNEMSアレイ重量センシング応用を標的とする15.6A同時デュアルモードヘテロダイン振動子XXXへ80MHz【Powered by NICT】
15.6 A 30-to-80MHz simultaneous dual-mode heterodyne oscillator targeting NEMS array gravimetric sensing applications with a 300zg mass resolution
著者 (8件):
Gourlat Guillaume
(CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
,
Sansa Marc
(CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
,
Villard Patrick
(CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
,
Sicard Gilles
(CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
,
Jourdan Guillaume
(CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
,
Ouerghi Issam
(CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
,
Billiot Gerard
(CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
,
Hentz Sebastien
(CEA-LETI-MINATEC, Grenoble, France)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
ISSCC
ページ:
266-267
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)