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文献
J-GLOBAL ID：201702210573385473
整理番号：17A0660616
大量生産のミクロインプリント・リソグラフィーにおける鋳型損傷とガス捕獲の低減のためのガス透過性セルローステンプレート【Powered by NICT】
Gas-Permeable Cellulose Template for Reduction of Template Damage and Gas Trapping in Microimprint Lithography of High Volume Manufacturing
Takei Satoshi
(Eco-material Engineering, Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama, 939-0398, Japan)
,
Nakajima Shinya
(Eco-material Engineering, Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama, 939-0398, Japan)
,
Sugahara Kigen
(Eco-material Engineering, Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama, 939-0398, Japan)
,
Hanabata Makoto
(Eco-material Engineering, Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama, 939-0398, Japan)
,
Matsumoto Yoko
(Litho Tech Japan Corporation, Saitama, 332-0034, Japan)
,
Sekiguchi Atsushi
(Litho Tech Japan Corporation, Saitama, 332-0034, Japan)
資料名：
Macromolecular Materials and Engineering
(Macromolecular Materials and Engineering)
巻： 301 号： 8 ページ： 902-906 発行年： 2016年
JST資料番号： D0557A ISSN： 1438-7492 CODEN： MMENFA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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