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文献
J-GLOBAL ID：201702211286896053
整理番号：17A0470941
高温における二重電子ビーム物理蒸着による密なイッテルビウム二けい酸塩層の調製【Powered by NICT】
Preparation of a dense ytterbium disilicate layer via dual electron beam physical vapor deposition at high temperature
Yokoi Taishi
(Materials Research and Development Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
,
Yamaguchi Norio
(Materials Research and Development Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
,
Tanaka Makoto
(Materials Research and Development Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
,
Yokoe Daisaku
(Nanostructures Research Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
,
Kato Takeharu
(Nanostructures Research Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
,
Kitaoka Satoshi
(Materials Research and Development Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
,
Takata Masasuke
(Materials Research and Development Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
,
Takata Masasuke
(Nanostructures Research Laboratory, Japan Fine Ceramics Center, 2-4-1 Mutsuno, Atsuta-ku, Nagoya 456-8587, Japan)
資料名：
Materials Letters
(Materials Letters)
巻： 193 ページ： 176-178 発行年： 2017年
JST資料番号： E0935A ISSN： 0167-577X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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