文献
J-GLOBAL ID:201702212496171393
整理番号:17A0281477
水酸化カリウム中の配向シリコンマイクロリッジのパターン誘起凸型隅アンダーカット
Pattern induced convex corner undercutting of oriented silicon microridges in potassium hydroxide
著者 (3件):
INAYAT S.B.
(Univ. California, Davis, USA)
,
OMBABA M.
(Univ. California, Davis, USA)
,
ISLAM M.Saif
(Univ. California, Davis, USA)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
23
号:
1
ページ:
75-80
発行年:
2017年01月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)