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文献
J-GLOBAL ID：201702212693057198
整理番号：17A0313558
RFマグネトロンスパッタリングにより作製したSiを注入したVN被覆の構造と性質【Powered by NICT】
Structure and properties of Si-implanted VN coatings prepared by RF magnetron sputtering
Zhao Hongjian
(School of Materials Science & Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China)
,
Yu Lihua
(School of Materials Science and Engineering, Jiangsu University of Science and Technology, Mengxi Road 2, Zhenjiang, Jiangsu Province 212003, China)
,
Mu Chunyan
(School of Materials Science & Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China)
,
Ye Fuxing
(School of Materials Science & Engineering, Tianjin University, Tianjin 300072, China)
資料名：
Materials Characterization
(Materials Characterization)
巻： 117 ページ： 65-75 発行年： 2016年07月
JST資料番号： D0448C ISSN： 1044-5803 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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