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文献
J-GLOBAL ID：201702212793746754
整理番号：17A1837322
反応性同軸型アークプラズマ堆積法によるAlNナノコンポジット硬質薄膜の作製
吉田智博
(福岡県工技セ 機械電子研)
,
内田聖也
(九大 大学院総合理工学府)
,
村澤功基
(オーエスジー)
,
工藤昌輝
(九大 超顕微解析研究セ)
,
鳥山誉亮
(九大 超顕微解析研究セ)
,
福井康雄
(オーエスジー)
,
櫻井正俊
(オーエスジー)
,
吉武剛
(九大 大学院総合理工学府)
資料名：
表面技術
(Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
巻： 68 号： 12 ページ： 735-737 発行年： 2017年12月01日
JST資料番号： G0441B ISSN： 0915-1869 CODEN： HYGIEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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