文献
J-GLOBAL ID:201702213389216055
整理番号:17A0381377
駆動運動とCoriolis運動検出のためのピエゾ抵抗NEMSに基づく超低電圧ジャイロスコープ【Powered by NICT】
Ultra-low-voltage gyroscopes based on piezoresistive NEMS for drive-motion and coriolis-motion sensing
著者 (4件):
Dellea Stefano
(Polite ́cnico di Milano, Milano, Italy)
,
Strazzeri Giorgio S.
(Polite ́cnico di Milano, Milano, Italy)
,
Rey Patrice
(Cea-LETI, Grenoble, France)
,
Langfelder Giacomo
(Polite ́cnico di Milano, Milano, Italy)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
21-24
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)