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文献
J-GLOBAL ID：201702213399232027
整理番号：17A0214196
7nm及びそれを超えるノードのための信頼性の高いサブnm EOT高kスタックを有するCMOS互換MIMデカップリングコンデンサ【Powered by NICT】
CMOS compatible MIM decoupling capacitor with reliable sub-nm EOT high-k stacks for the 7 nm node and beyond
Ando T.
(IBM T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, NY, USA)
,
Cartier E.
(IBM T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, NY, USA)
,
Jamison P.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Pyzyna A.
(IBM T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, NY, USA)
,
Kim S.
(IBM T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, NY, USA)
,
Bruley J.
(IBM T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, NY, USA)
,
Chung K.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Shobha H.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Estrada-Raygoza I.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Tang H.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Kanakasabapathy S.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Spooner T.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Clevenger L.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Bonilla G.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Jagannathan H.
(IBM Research @ Albany Nanotech, Albany, NY, USA)
,
Narayanan V.
(IBM T.J. Watson Research Center, Yorktown Heights, NY, USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： IEDM ページ： 9.4.1-9.4.4 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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