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文献
J-GLOBAL ID:201702213467815956   整理番号:17A0848465

ミストCVD法による立方晶MgO(111)およびイットリア安定化ジルコニア(111)基板上のε-Ga2O3薄膜のヘテロエピタキシャル成長

Heteroepitaxial growth of ε-Ga2O3 thin films on cubic (111) MgO and (111) yttria-stablized zirconia substrates by mist chemical vapor deposition
著者 (3件):
NISHINAKA Hiroyuki
(Kyoto Inst. of Technol., Kyoto, JPN)
TAHARA Daisuke
(Kyoto Inst. of Technol., Kyoto, JPN)
YOSHIMOTO Masahiro
(Kyoto Inst. of Technol., Kyoto, JPN)

資料名:
Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)

巻: 55  号: 12  ページ: 1202BC.1-1202BC.4  発行年: 2016年12月 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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